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JIS B 9960-33 最新規格機械類の安全性－機械の電気装置－第３３部：半導体製造装置に対する要求事項｜JIS規格一覧｜更新改正情報｜制定

更新日 : 2019年12月28日DIY的ライフJISB9

JISB9960-33:2012の規格は,半導体製品の製造,測定,組立及び試験のために使用する半導体製造装置の電気装置に適用。