JISB99まとめ 7ページ目

JISB9927:1999の規格は,クリーンルーム及びクリーンルーム機器に用いる粒子捕集用のエアフィルタの性能試験方法について規定。

JISB9918-2:2008の規格は,微生物学的データの評価方法及び微生物汚染制御における,リスク区域の微生物粒子サンプリングから得られる結果の推定方法に関する指針について規定。

JISB9960-33:2012の規格は,半導体製品の製造,測定,組立及び試験のために使用する半導体製造装置の電気装置に適用。