JIS C 5630-30:2020 最新規格 マイクロマシン及びMEMS―第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法|JIS規格一覧|更新改正情報|制定
JIS C 5630-30の規格 マイクロマシン及びMEMS―第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法の一覧・基本・名称・用語・知識・JIS最新改正更新情報に関して解説!
JISC5630-30 : 2020のJIS規格は,MEMS圧電薄膜デバイスにおけるマイクロアクチュエータ及びマイクロセンサに使われる薄膜材料の電気機械的変換特性の測定方法及び報告様式について規定。
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マイクロマシン及びMEMS―第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法 規格 一覧表

マイクロマシン及びMEMS―第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法の一覧
最新 JISC5630-30:2020の更新 情報詳細
JIS C 5630-30:2020の最新の詳細や改正,更新日の情報!
JIS 改正 最新情報
JIS規格番号 | JIS C 5630-30:2020 | JIS改正 最新・更新日 | |
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規格名称 | マイクロマシン及びMEMS―第30部:MEMS圧電薄膜の電気機械的変換特性の測定方法 | ||
英語訳 | Semiconductor devices — Micro-electromechanical devices — Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film | ||
対応国際規格 ISO | IEC 62047-30:2017(IDT) | ||
主務大臣 | 経済産業 | 制定 年月日 | 2020/03/23 |
略語・記号 | No | JIS C 5630-30:2020 | |
ICS | 31.080.99 | JISハンドブック | |
改訂 履歴 | 2020-03-23(制定) |
JIS規格「日本工業規格」は、2019年7月1日の法改正により名称が「日本産業規格」に変わりました。
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